Indium Tin Oxide Target


Model ITO Target
Hauptinhalt (wt%)* In2O3:SnO2=90:10
Reinheit (%) 99,995
Relative Dichte (%) 99,8
Theoretische Dichte (g/cm3) 7.156
Durchgangswiderstand (Ω·cm) 1.33×10-4
Biegefestigkeit (Mpa) ≥190Mpa
Planar Target Abmessung (mm) * max. 1150x350x6
Rotierbar Target Abmessung (mm) * Length: 450
Innerer Durchmesser: 135
Außerer Durchmesser: 153
Chemische Zusammensetzung(≤ %) Si 10,2
Fe 2,5
Mg 1,4
Ca 4,2
Na 1,5
Al 4,2
Cu 2,1
Cd <0.5
Pb <0.5
Zn <0.5
Sr <0.5
Ag <0.5
*: Mehr Abmessungen verfügbar


Fracture von elektronenmikroskopischer Aufnahme


Ultrasonic Inspection Chart


Bonding Rate>98%


The Full Band Transmittance at Different Resistivity Films